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高溫爐操作規(guī)程有哪些說明?
發(fā)布時(shí)間:2016年8月26日

高溫爐操作規(guī)程
一、 準(zhǔn)備工作
a、檢查連接線是否正常。
b、檢查電源線接觸是否良好。
c、檢查密封性是否正常。
d、檢查冷卻水是否正常。
e,、準(zhǔn)備所需工具:無水酒精、無塵紙、作業(yè)手套、帆布手套、耐高溫手套、口罩、石墨推車、不銹鋼托盤
二、開爐
a、打開主電源開關(guān)
b、向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板
c、將輸送車開關(guān)打至 OUT
d、清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三、裝料
a、將石墨坩堝放置于輸送車平臺(tái)上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。
b、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會(huì)到初始位置。
c、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門。
四、抽氣
a、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封。
b、置 DP 按鈕于 DP ON,打開干式真空泵,打開真空計(jì)開關(guān) P1G1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測(cè)試泄漏率。
c、當(dāng)壓力表指示為 50Pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
d、加熱 先打開水環(huán)泵 再按 RUN,開始工藝加熱。
e、冷卻。加熱結(jié)束后,按工藝條件進(jìn)行冷卻。

 

 

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